作為華虹集團(tuán)在上海市域外布局的第一個(gè)集研發(fā)與生產(chǎn)于一體的制造基地，華虹無(wú)錫集成電路研發(fā)和制造基地一期項(xiàng)目6月6日迎來(lái)重要階段性成果，由華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)有限公司承擔(dān)的12英寸生產(chǎn)線(xiàn)(華虹七廠)成功實(shí)現(xiàn)首批光刻機(jī)搬入，標(biāo)志著華虹七廠建設(shè)邁上一個(gè)新臺(tái)階，為今年9月份建成投片奠定了基礎(chǔ)。
華虹集團(tuán)是國(guó)家“909”工程的成果與載體。2017年8月，華虹集團(tuán)與無(wú)錫市政府簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，總投資約100億美元的華虹集團(tuán)集成電路研發(fā)和制造基地項(xiàng)目正式落戶(hù)無(wú)錫高新區(qū)。華虹無(wú)錫項(xiàng)目一期投資25億美元，主要建設(shè)一條工藝等級(jí)為90-55納米、月產(chǎn)4萬(wàn)片的12英寸特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)，將開(kāi)發(fā)生產(chǎn)智能卡芯片、微控制器芯片、電源管理芯片及系統(tǒng)集成芯片等產(chǎn)品。
自2018年3月開(kāi)工至今，華虹七廠主要工程節(jié)點(diǎn)較原計(jì)劃大幅提前。目前主廠房已完成凈化裝修，相關(guān)配套機(jī)電設(shè)備準(zhǔn)備就緒，具備了工藝設(shè)備搬入條件。今年5月24日，華虹七廠實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備的搬入，6月6日又迎來(lái)生產(chǎn)線(xiàn)最關(guān)鍵的首批光刻機(jī)的搬入。
據(jù)專(zhuān)家介紹，光刻機(jī)是芯片制造過(guò)程中的核心設(shè)備，它定義了整條生產(chǎn)線(xiàn)的工藝水平。芯片制造是通過(guò)光刻把圖形復(fù)制到硅片上的過(guò)程，圖形最小尺寸取決于光刻機(jī)水平。華虹無(wú)錫項(xiàng)目工藝等級(jí)為55nm，所選用光刻機(jī)由荷蘭ASML公司生產(chǎn)，在55nm節(jié)點(diǎn)其技術(shù)是目前最廣泛應(yīng)用的成熟產(chǎn)品。隨著光刻機(jī)的搬入，華虹七廠生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)進(jìn)入到設(shè)備全面安裝調(diào)試階段，朝著年內(nèi)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)又邁進(jìn)了一大步。
華虹七廠廠長(zhǎng)倪立華告訴記者，在接下來(lái)的一個(gè)半月時(shí)間里，無(wú)錫七廠的后續(xù)設(shè)備將不間斷密集搬入并完成安裝調(diào)試。工廠將力爭(zhēng)在8月份實(shí)現(xiàn)工藝線(xiàn)貫通，9月份完成產(chǎn)品試片，年內(nèi)實(shí)現(xiàn)規(guī)模出貨。
集成電路代工企業(yè)在技術(shù)上通常有兩條戰(zhàn)略發(fā)展路線(xiàn)，一條是沿著“摩爾定律”不斷微細(xì)化發(fā)展，一條是沿著“超摩爾定律”發(fā)展特色工藝。近年來(lái)，華虹集團(tuán)一方面堅(jiān)持在“摩爾定律”路線(xiàn)上不斷研發(fā)先進(jìn)工藝技術(shù)，同時(shí)堅(jiān)持在“超摩爾定律”方面不斷發(fā)展。華虹無(wú)錫項(xiàng)目正是華虹8英寸“超摩爾定律”特色工藝平臺(tái)在12英寸上的進(jìn)一步延伸，它瞄準(zhǔn)的終端應(yīng)用包括5G通信、物聯(lián)網(wǎng)以及汽車(chē)電子等領(lǐng)域，這也與無(wú)錫市的產(chǎn)業(yè)發(fā)展定位和走向非常契合。
華虹無(wú)錫項(xiàng)目的啟動(dòng)建設(shè)，將使無(wú)錫成為全國(guó)集成電路高端生產(chǎn)線(xiàn)最密集地區(qū)之一，鞏固無(wú)錫作為“國(guó)家南方微電子工業(yè)基地中心”地位，也將進(jìn)一步奠定無(wú)錫高新區(qū)在全國(guó)集成電路領(lǐng)域的領(lǐng)先位置。同時(shí)，無(wú)錫正在打造以物聯(lián)網(wǎng)為龍頭的新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高地，華虹的到來(lái)，也將為無(wú)錫智慧城市建設(shè)提供有力支撐。無(wú)錫市副市長(zhǎng)王進(jìn)健表示，將把華虹無(wú)錫項(xiàng)目作為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的“頭號(hào)工程”，以更大力度支持華虹集團(tuán)在無(wú)錫高新區(qū)的業(yè)務(wù)發(fā)展。
自1996年成立以來(lái)，華虹集團(tuán)一直是我國(guó)發(fā)展自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)的先行者和主力軍。華虹進(jìn)入無(wú)錫后，無(wú)錫的通用半導(dǎo)體制造技術(shù)將從8英寸時(shí)代進(jìn)入12英寸時(shí)代，工藝技術(shù)能力也將由之前的0.13微米提升至55納米節(jié)點(diǎn)。華虹無(wú)錫基地也是無(wú)錫迄今為止單體投資最大的產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。
華虹集團(tuán)總裁王靖表示，華虹無(wú)錫項(xiàng)目的布局，是華虹集團(tuán)全面貫徹落實(shí)長(zhǎng)三角區(qū)域經(jīng)濟(jì)一體化發(fā)展、推動(dòng)經(jīng)濟(jì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的重要舉措，也是深化貫徹落實(shí)打響“上海制造”品牌建設(shè)的重要抓手。
近日，我國(guó)正式發(fā)放5G商用牌照，加速進(jìn)入5G時(shí)代。據(jù)倪立華介紹，智慧城市的根基以及物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展離不開(kāi)5G技術(shù)支撐，華虹無(wú)錫項(xiàng)目瞄準(zhǔn)的終端應(yīng)用包括5G、物聯(lián)網(wǎng)等新興應(yīng)用領(lǐng)域，規(guī)劃技術(shù)路線(xiàn)包含邏輯與射頻、嵌入式非易失性存儲(chǔ)器以及電源管理。隨著5G商用時(shí)點(diǎn)的臨近，5G射頻芯片迎來(lái)黃金發(fā)展期。華虹無(wú)錫(半導(dǎo)體)有限公司也將基于華虹宏力成熟的射頻CMOS工藝，以及RF SOI與鍺硅BiCMOS工藝等，為無(wú)錫打造以物聯(lián)網(wǎng)為龍頭的新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高地貢獻(xiàn)力量。(高少華 陳杰)
關(guān)鍵詞： 華虹 無(wú)錫 長(zhǎng)三角 5G
